該技術通過電子加速器產生的高能電子束照射煙氣，使煙氣中的分子電離，生成大量的自由電子、離子和自由基（如OH·、HO?·等）。這些活性粒子與煙氣中的二氧化硫、氮氧化物等發生化學反應，生成硫酸、硝酸等可溶性物質，從而實現脫硫脫硝。后續生成的硫酸、硝酸等物質可以通過噴水或堿液吸收的方式從煙氣中分離出來。

氧化后的產物（如硫酸根、硝酸根）可通過堿液吸收，生成硫酸鹽、硝酸鹽等可回收的副產品。氯酸鹽可以通過化學再生的方式恢復其氧化能力，實現循環利用。

以上三種技術各有優缺點，適用于不同的應用場景。活性炭法適合中低濃度的煙氣處理，具有資源回收的優勢；等離子射線法適用于高濃度、多種污染物的協同處理，但設備復雜、能耗高；氯酸氧化法工藝簡單、效率高，但存在腐蝕和安全問題。在實際應用中，需要根據煙氣成分、濃度、處理要求等因素綜合選擇合適的技術。